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OTF-1200X-5-III-F3LV 带滑动法兰三温区CVD系统

应用范围:带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。

产品型号:OTF-1200X-5-III-F3LV

上架时间:2020-04-20

管式炉尺寸:1080mm×430mm×600mm

重量:70kg

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询
       带滑动法兰三温区CVD系统OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加热至1200℃,并通过调整三个温区而建立不同梯度的热场,可进行退火、扩散、在不同气氛中烧结样品及CVD等实验。
  功能特点
  • 双层壳体,配有冷系统,炉体采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料。
  • 内炉膛表面涂有美国进口氧化铝涂层,可以提高反射率和保护炉膛洁净度。
  • 一端法兰配有滑轨,便于样品装卸;另一端法兰装有数字真空计。
  • 采用三个独立PID控制器 ,可以设置30段升降温程序,设有过热和断偶保护功能。
  • 已通过CE认证。
  技术参数
安装条件 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
不需要
AC220V 50Hz,必须有良好接地
设备腔室内需充注气体,需自备气瓶气源
工作台 尺寸1600mm×600mm×700mm,承重150kg以上
通风装置 需要
电源 单相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保险丝)
石英管 外径Ø125mm,内径120mm,长1400mm,带有一对真空密封法兰
加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝
加热区域 温区I长229mm,温区II长457mm,温区III长229mm,总长915mm
恒温区域 三个温区为同一温度时为625mm,温区II为110mm
工作温度 最高1200℃,连续工作1100℃
最大升降温速率 20℃/min
控温精度 ±1℃
热电偶 K型
浮子流量计 3个,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min
数字真空计 10-4torr
管式炉尺寸 1080mm×430mm×600mm
重量 70kg
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