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GSL-1800X-ZF4 高真空蒸发镀膜仪

应用范围：GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

产品型号：GSL-1800X-ZF4

上架时间：2019-08-20

安装尺寸：650mm×1200mm×1600mm

重量：600Kg

A^-A⁺

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GSL-1800X-ZF4蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。

性能指标和基本配置
主要特点	● 真空控制单元全部集合在一个控制盒内。 ● 采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。 ● 真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于安装其他设备）。 ● 在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。 ● 4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。 ● 样品台安装在腔体的顶部。 ● 腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。 ● 可使用循环水冷机。
技术参数	● 输入：单相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW ● 输出：0-8V AC 可调，最大电流400A，最大功率8000W（包括真空泵） ● 真空腔：Φ300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理 ● 腔门：Φ200mm ● 观察窗：Φ95mm，采用专用密封圈密封 ● 真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s（标配GZK-103G分子泵） ● 真空度：5.0×10-6torr（泵开启40min后） ● 极限真空度：5.0×10-7torr （加热温度为100℃-150℃） ● 漏率：5.0×10-7Pa/s ● 样品台：Φ140mm ● 蒸发舟与样品台间距：260mm ● 冷却水需量：15L/min
产品尺寸	650mm×1200mm×1600mm；
产品重量	600kg
保修期	一年保修，终身技术支持。特别提示： 1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

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