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VTC-16-D 小型三靶等离子溅射仪

应用范围:VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜。

产品型号 :VTC-16-D

上架时间 :2019-08-16

安装尺寸:L460 mm × W 330 mm × H 540 mm

重量:20Kg(不包括泵)

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       VTC-16-D是一款小型直流磁控等离子溅射镀膜仪,其靶头尺寸为2英寸,并且样品台的高度可以调节。此款镀膜仪设计主要是制作一些金属薄膜。

 性能指标和基本配置
特点

● 特别为SEM样品镀导电性薄膜设计
● 体积小巧,操作简单,容易上手。
● 拥有小型磁控靶头,可以镀金银铂等金属。

主要参数

● 输入电源:220V AC 50/60Hz
● 功率:200W
● 输出电压:500 VDC
● 溅射电流:0-50 mA可调
● 溅射时间:0-120S可调

溅射腔体

● 采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H
● 密封:采用不锈钢平法兰的O形密封圈

溅射头&样品台

● 溅射头可安装靶材直径为2英寸,厚度0.1 - 2.5mm
● 溅射时间1-120S可调
● 仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离可调。
● 可选购加热型样品台,其最高加热温度为500℃
● 安装有一可手动操作的溅射挡板,可进行预溅射。
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真空系统

● 安装有KF25真空接口
● 数字真空压力表(Pa)
● 此系统可通入气体运行
● < 1.0E-2 Torr (采用机械泵)(仅供参考,详情请点击)
● < 1.0E-5 Torr(采用涡旋分子泵)(仅供参考,详情请点击)
● 可在雷速体育app官方下载选购各种真空泵
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进气

● 设备上配1/4英寸进气口,方便连接气瓶
● 设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流

靶材

● 靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)
● 此设备标配为铜靶
● 可在雷速体育app官方下载选购各种靶材

各种靶材的参数(仅供参考) 对于溅射各种金属靶材,需要摸索最理想的溅射参数,下表是雷速体育app官方下载实验所设置的参数,欢迎您带料来科晶实验室摸索工艺(仅供参考,详情请点击)
靶材种类 真空度(Pa) 溅射电流(mA) 时间(s) 溅射次数
Au 31-33 28-30 100 1
Ag 31 28 100 1
薄膜测厚仪(可选)

可在雷速体育app官方下载选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
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产品尺寸 L460 mm × W 330 mm × H 540 mm
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净重 20 kg(不包括泵)
使用注意事项

● 有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜
● 在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净
● 要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面
● 超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声,(2)异丙醇超声-去除油脂,(3)吹氮气干燥,(4)真空烘箱除去水分。
● 等离子清洗(详细参数点击下面图片):可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。
● 制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。
● 请使用>5N纯度氩气等离子体溅射
● 溅射镀膜机可以放入Ar或N2气体手套箱中溅射
● 由于能量低,该模型不适用于涂层的轻金属材料如Al,Mg,Zn,Ni。请考虑我们的磁控溅射镀膜机或热蒸发镀膜机。点击下面图片查看细节
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     超声波清洗机         等离子清洗机     大功率磁控溅射仪             蒸镀仪

警告

● 注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。
● 气瓶上应安装减压阀(不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。
● 溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶头。

认证

1CE认证

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内

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