应用范围:OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。
产品型号 :OTF-1200X-II-PEC4
上架时间 :2019-07-04
安装尺寸:炉体:2800mm L x 800mm W x 1700mm H,
供气系统:600mmL x 700mm W x 700mm H
重量:180kg
OTF-1200X-II-PEC4是一款1200℃等离子增强混合物理化学气相沉积(HPCVD)双温区回转炉系统。此系统由一300W射频电源(带自动匹配功能)、上游原位蒸发舟、4通道质子流量计控制系统以及性能优异的真空泵组成。此套完整的设备系统特别适合用于无机复合粉末的热处理以及粉末表面的均匀包覆(如:制备锂离子电池阴极粉末的导电涂层等)。
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