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OTF-1200X-S25-II-SL 1200℃1英寸双温区管式炉CVD系统

应用范围:OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。 

产品型号 :OTF-1200X-S25-II-SL 

上架时间 :2019-07-02 

安装尺寸:600(L) x 600(W) x 700(H) mm

产品简述 产品详情 产品视频 留言咨询

       OTF-1200X-S25-II-SL是一款小型双温区管式炉CVD系统。它由带快速链接法兰的小型双温区滑轨炉、质子流量控制器、真空泵三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;触屏式三路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。

 性能指标和基本配置
OTF-1200X-S25-II -SL管式炉 炉体结构

● 采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55℃
● 炉底安装一对滑轨,可滑动,内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管尺寸 Φ25×1000mm
功率 1.2kW
输入电压 220VAC  单相  50/60Hz
加热元件 Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)
最高温度 最高1200℃额定温度1100℃
升温速率 ≦10℃/min(推荐)
加热区长度

● 两个加热区的长度都是100mm
● 分别由独立的温控系统控制

控温精度 ±1℃
快速连接法兰

● KF25不锈钢真空法兰
● 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
● 另配备有可调节高度的法兰支架

真空系统(多种真空系统可选请点击这里) 壳体尺寸

600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

最大承载量 1000 Lbs
抽气速率

● 3L/S
● 极限真空度:10-1Pa
● 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

电压 AC220V/50Hz单相
功率 23W
应用注意事项 ●炉管内气压不可高于0.02MPa
●由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在雷速体育app官方下载选购减压阀,雷速体育app官方下载减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
●当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
●石英管的长时间使用温度<1100℃
●对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
质量认证

所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证/ CE认证,若客户出认证费用,雷速体育app官方下载保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
1

保修期 一年保修,终身技术支持。
特别提示:
1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

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